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中国证券报(记者吴克仁)中国证券报记者3月6日下午从SMIC了解到,SMIC深圳工厂日前从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是正常的扩能设备进口,而不是外界所说的euv光刻机。据报道,euv光刻机主要用于7纳米及以下工艺。目前,SMIC最先进的生产工艺是第一代finfet 14nm,它在2019年第四季度贡献了1%的收入。

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来源:索菲亚回声报中文网

标题:中芯国际回应:深圳工厂进口设备非EUV光刻机

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